Chine Revêtement en carbure de silicium Fabricant, fournisseur, usine

VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.

Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.

Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.

Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :

Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Paramètre de revêtement en carbure de silicium semi-conducteur VeTek :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété	Valeur typique
Structure cristalline	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité	3,21 g/cm³
Dureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Piédestal revêtu de SiC

Vetek Semiconductor est professionnel dans la fabrication de revêtements CVD SiC et TaC sur des matériaux en graphite et en carbure de silicium. Nous fournissons des produits OEM et ODM comme un socle revêtu de SiC, un support de plaquette, un mandrin de plaquette, un plateau de support de plaquette, un disque planétaire, etc. Avec une salle blanche et un dispositif de purification de qualité 1000, nous pouvons vous fournir des produits avec des impuretés inférieures à 5 ppm. de toi bientôt.

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Bague d'entrée de revêtement SiC

Vetek Semiconductor excelle dans la collaboration étroite avec ses clients pour créer des conceptions sur mesure pour les bagues d'entrée avec revêtement SiC adaptées aux besoins spécifiques. Ces bagues d'entrée à revêtement SiC sont méticuleusement conçus pour diverses applications telles que les équipements CVD SiC et l'épitaxie au carbure de silicium. Pour des solutions de bague d'entrée de revêtement SiC sur mesure, n'hésitez pas à contacter Vetek Semiconductor pour une assistance personnalisée.

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Anneau de support revêtu de SiC

VeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur professionnel en Chine, produisant principalement des anneaux de support revêtus de SiC, des revêtements CVD en carbure de silicium (SiC), des revêtements en carbure de tantale (TaC), du SiC en vrac, des poudres de SiC et des matériaux SiC de haute pureté. Nous nous engageons à fournir un support technique parfait et des solutions produits ultimes pour l'industrie des semi-conducteurs, n'hésitez pas à nous contacter.

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Mandrin à plaquettes

Le mandrin de tranche de Vetek Semiconductor joue un rôle central dans la production de semi-conducteurs, permettant une production rapide et de haute qualité. Avec une fabrication en interne, des prix compétitifs et un solide support R&D, Vetek Semiconductor excelle dans les services OEM/ODM pour les composants de précision. Dans l'attente de votre demande.

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Suscepteur planétaire ALD

Processus ALD, signifie processus d'épitaxie de couche atomique. Les fabricants de Vetek Semiconductor et de systèmes ALD ont développé et produit des suscepteurs planétaires ALD à revêtement SiC qui répondent aux exigences élevées du processus ALD pour répartir uniformément le flux d'air sur le substrat. Dans le même temps, le revêtement CVD SiC de haute pureté de Vetek Semiconductor garantit la pureté du processus. Bienvenue pour discuter de la coopération avec nous.

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Suscepteur de revêtement SiC

Vetek Semiconductor se concentre sur la recherche, le développement et l'industrialisation des revêtements CVD SiC et CVD TaC. En prenant comme exemple le suscepteur de revêtement SiC, le produit est hautement traité avec un revêtement CVD SIC dense de haute précision, une résistance à haute température et une forte résistance à la corrosion. Une enquête sur nous est la bienvenue.

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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de silicium en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de silicium avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.