Revêtement CVD TAC

Le revêtement CVD TaC (revêtement de carbure de tantale par dépôt chimique en phase vapeur) est un produit de revêtement principalement composé de carbure de tantale (TaC). Le revêtement TaC présente une dureté, une résistance à l'usure et une résistance aux températures élevées extrêmement élevées, ce qui en fait un choix idéal pour protéger les composants clés de l'équipement et améliorer la fiabilité des processus. C'est un matériau indispensable dans le traitement des semi-conducteurs.

Les produits CVD TaC Coating sont généralement utilisés dans les chambres de réaction, les supports de tranches et les équipements de gravure, et y jouent les rôles clés suivants.

Le revêtement CVD TaC est souvent utilisé pour les composants internes des chambres de réaction tels que les substrats, les panneaux muraux et les éléments chauffants. Combiné à son excellente résistance aux hautes températures, il peut résister efficacement à l'érosion des gaz et du plasma corrosifs à haute température, prolongeant ainsi efficacement la durée de vie de l'équipement et assurant la stabilité du processus et la pureté de la production du produit.

De plus, les supports de plaquettes revêtus de TaC (tels que les bateaux en quartz, les luminaires, etc.) présentent également une excellente résistance à la chaleur et à la corrosion chimique. Le support de tranche peut fournir un support fiable à la tranche à des températures élevées, empêcher la contamination et la déformation de la tranche et ainsi améliorer le rendement global de la puce.

De plus, le revêtement TaC de VeTek Semiconductor est également largement utilisé dans divers équipements de gravure et de dépôt de couches minces, tels que les graveurs plasma, les systèmes de dépôt chimique en phase vapeur, etc. Dans ces systèmes de traitement, le revêtement CVD TAC peut résister à un bombardement ionique à haute énergie et à de fortes réactions chimiques. , garantissant ainsi la précision et la répétabilité du processus.

Quelles que soient vos exigences spécifiques, nous trouverons la meilleure solution pour vos besoins en matière de revêtement CVD TAC et attendons avec impatience votre consultation à tout moment.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD TAC :

Magasins de produits de revêtement VeTek Semiconductor CVD TAC :

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :