Pommeau de douche en carbure de silicium

La pomme de douche en carbure de silicium VeTek Semiconductor est principalement composée de SiC. Dans le traitement des semi-conducteurs, la fonction principale de la pomme de douche en carbure de silicium est de répartir uniformément le gaz de réaction pour assurer la formation d'un film uniforme pendantdépôt chimique en phase vapeur (CVD)oudépôt physique en phase vapeur (PVD)processus. En raison des excellentes propriétés du SiC telles qu'une conductivité thermique élevée et une stabilité chimique, la pomme de douche SiC peut fonctionner efficacement à des températures élevées, réduire les irrégularités du flux de gaz pendant le fonctionnement.processus de dépôt, et améliore ainsi la qualité de la couche de film.

La pomme de douche en carbure de silicium peut répartir uniformément le gaz de réaction à travers plusieurs buses ayant la même ouverture, assurer un flux de gaz uniforme, éviter les concentrations locales trop élevées ou trop faibles et ainsi améliorer la qualité du film. Combiné à l'excellente résistance aux températures élevées et à la stabilité chimique deCVD SiC, aucune particule ou contaminant n'est libéré pendant leprocessus de dépôt de film, ce qui est essentiel au maintien de la pureté du dépôt du film.

De plus, un autre avantage majeur de la pomme de douche CVD SiC est sa résistance à la déformation thermique. Cette fonctionnalité garantit que le composant peut maintenir une stabilité structurelle physique même dans des environnements à haute température typiques des processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou de dépôt physique en phase vapeur (PVD). La stabilité minimise le risque de désalignement ou de défaillance mécanique, améliorant ainsi la fiabilité et la durée de vie de l'ensemble du dispositif.

En tant que principal fabricant et fournisseur de pomme de douche en carbure de silicium en Chine. Le plus grand avantage de la pomme de douche en carbure de silicium CVD VeTek Semiconductor est la capacité de fournir des produits et des services techniques personnalisés. Notre avantage de service personnalisé peut répondre aux différentes exigences des différents clients en matière de finition de surface. En particulier, il prend en charge la personnalisation raffinée des technologies de traitement et de nettoyage matures pendant le processus de fabrication.

De plus, la paroi interne des pores de la pomme de douche en carbure de silicium VeTek Semiconductor est soigneusement traitée pour garantir qu'il n'y a aucune couche de dommages résiduels, améliorant ainsi les performances globales dans des conditions extrêmes. De plus, notre pomme de douche CVD SiC est capable d'atteindre une ouverture minimale de 0,2 mm, obtenant ainsi une excellente précision de distribution de gaz et maintenant un débit de gaz optimal et des effets de dépôt de couches minces pendant la fabrication des semi-conducteurs.

DONNÉES SEM DESTRUCTURE CRISTALLINE DU FILM CVD SIC：

Propriétés physiques de base du CVD Revêtement SiC：

Magasins de pommes de douche en carbure de silicium semi-conducteur VeTek :