Anneau à trois pétales avec revêtement TaC

VeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur professionnel d'anneaux à trois pétales recouverts de TaC en Chine. L'anneau à trois pétales recouvert de TaC est utilisé dans le système de dépôt Aixtron G10 pour les semi-conducteurs composés, l'épitaxie à haut débit G10-GaN 150/200 mm pour la puissance GaN et RF. applications.

Le revêtement VeTek Semiconductor TaC est une nouvelle génération de matériau résistant aux hautes températures, avec une meilleure stabilité à haute température que le SiC, en tant que revêtement résistant à la corrosion, revêtement résistant à l'oxydation, revêtement résistant à l'usure, peut être utilisé dans un environnement supérieur à 2000 ℃, largement utilisé dans pièces d'extrémité chaude à ultra-haute température aérospatiale, la troisième génération de croissance monocristalline semi-conductrice et d'autres domaines.

Caractéristiques du produit:

1. Haute pureté, teneur en impuretés < 5 ppm

2. Résistance à haute température, résistance à la corrosion, haute densité, haute densité

3. Il est chimiquement inerte vis-à-vis de l'ammoniac, de l'hydrogène, du silane et du silicium à haute température et présente une bonne stabilité thermique.

4. La résistance aux chocs thermiques peut accélérer le cycle de fonctionnement

5. Une forte adhérence du graphite garantit une longue durée de vie et aucun délaminage du revêtement.

6. Tolérances dimensionnelles strictes.

Principales applications :

1. Croissance épitaxiale

2. Croissance monocristalline

3. Détournement de la corrosion à haute température

4. Buse résistante aux hautes températures et à l'oxydation

5. Aubes de turbine à gaz

Paramètre de produit de l'anneau à trois pétales revêtu de TaC

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek