Chauffage de revêtement TaC

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de réchauffeurs de revêtement TaC en Chine. Ce produit a un point de fusion extrêmement élevé (environ 3880°C). Le point de fusion élevé du TaC Coating Heater lui permet de fonctionner à des températures extrêmement élevées, en particulier lors de la croissance de couches épitaxiales de nitrure de gallium (GaN) dans le processus de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD). VeTek Semiconductor s'engage à fournir des technologies et des solutions de produits avancées pour l'industrie des semi-conducteurs. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

TaC Coating Heater est un élément chauffant haute performance largement utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Sa surface est recouverte d'un matériau en carbure de tantale (TaC), ce qui confère au radiateur une excellente résistance aux températures élevées, une résistance à la corrosion chimique et une excellente conductivité thermique.

Les principales applications du TaC Coating Heater dans la fabrication de semi-conducteurs comprennent :

Pendant le processus de croissance épitaxiale du nitrure de gallium (GaN), le TaC Coating Heater fournit un environnement à haute température contrôlé avec précision pour garantir que la couche épitaxiale est déposée sur le substrat à un rythme uniforme et de haute qualité. Sa puissance calorifique stable permet d’obtenir un contrôle précis des matériaux à couches minces, améliorant ainsi les performances de l’appareil.

De plus, dans le processus de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD), combiné à la résistance à haute température et à la conductivité thermique du revêtement TaC, le réchauffeur de revêtement TaC est généralement utilisé pour chauffer le gaz de réaction et, en assurant une distribution uniforme de la chaleur, il favorise sa réaction chimique sur la surface du substrat, améliorant ainsi l'uniformité de la couche épitaxiale et formant un film de haute qualité.

En tant que leader de l'industrie des produits TaC Coating Heater, VeTek Semiconducto prend toujours en charge les services de personnalisation des produits et des prix de produits satisfaisants. Quelles que soient vos exigences spécifiques, nous trouverons la meilleure solution pour vos besoins en matière de chauffage de revêtement TaC et attendons avec impatience votre consultation à tout moment.

Propriétés physiques de base du réchauffeur de revêtement TaC :

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10-5 Ohms*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)