Plaque de support de socle de revêtement TaC

VeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur chinois qui produit principalement des suscepteurs de revêtement CVD TaC, une bague d'entrée, des morceaux de plaquettes, un support revêtu de TaC, une plaque de support de socle de revêtement TaC avec de nombreuses années d'expérience. J'espère établir des relations commerciales avec vous.

Les céramiques TaC ont un point de fusion allant jusqu'à 3 880 ℃, une dureté élevée (dureté Mohs 9 ~ 10), une grande conductivité thermique (22 W·m-1·K−1), une grande résistance à la flexion (340 ~ 400 MPa) et une faible dilatation thermique. coefficient (6,6×10−6K−1), et présentent une excellente stabilité thermochimique et d'excellentes propriétés physiques. Il a une bonne compatibilité chimique et mécanique avec le graphite et les matériaux composites C/C, de sorte que le revêtement TaC est largement utilisé dans la protection thermique aérospatiale, la croissance monocristalline et les réacteurs épitaxiaux comme Aixtron, le réacteur LPE EPI dans l'industrie des semi-conducteurs. Le graphite enduit de TaC a une meilleure résistance à la corrosion chimique que l'encre de pierre nue ou le graphite enduit de SiC, peut être utilisé de manière stable à une température élevée de 2 200 °, ne réagit pas avec de nombreux éléments métalliques, est la troisième génération de scène de croissance, d'épitaxie et de gravure de monocristaux de semi-conducteurs. du revêtement le plus performant, peut améliorer considérablement le processus de contrôle de la température et des impuretés, préparation de tranches de carbure de silicium de haute qualité et de tranches épitaxiales associées. Il est particulièrement adapté à la culture de monocristal de GaN ou d'AlN dans un équipement MOCVD et de monocristal de SiC dans un équipement PVT, et la qualité du monocristal cultivé est évidemment améliorée.

Revêtement TaC et revêtement SiC Pièces de rechange que nous pouvons fabriquer :

Paramètre du revêtement TaC :

Chaîne industrielle :

Atelier de production