Suscepteur planétaire à revêtement TaC

Le suscepteur planétaire à revêtement VeTek Semiconductor'TaC est un produit exceptionnel pour les équipements d'épitaxie Aixtron. Le revêtement TaC robuste offre une excellente résistance aux hautes températures et une inertie chimique. Cette combinaison unique garantit des performances fiables et une longue durée de vie, même dans des environnements exigeants. VeTek s'engage à fournir des produits de haute qualité et à servir de partenaire à long terme sur le marché chinois avec des prix compétitifs.

envoyer une demande

Description du produit

Dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, le suscepteur planétaire à revêtement TaC joue un rôle crucial. Il est largement utilisé dans la croissance de couches épitaxiales de carbure de silicium (SiC) dans des équipements tels que le système Aixtron G5. De plus, lorsqu'il est utilisé comme disque externe dans le dépôt de revêtement de carbure de tantale (TaC) pour l'épitaxie SiC, le suscepteur planétaire de revêtement TaC offre un support et une stabilité essentiels. Il assure un dépôt uniforme de la couche de carbure de tantale, contribuant à la formation de couches épitaxiales de haute qualité avec une excellente morphologie de surface et l'épaisseur de film souhaitée. L'inertie chimique du revêtement TaC empêche les réactions indésirables et la contamination, maintenant l'intégrité des couches épitaxiales et garantissant leur qualité supérieure.

La conductivité thermique exceptionnelle du revêtement TaC permet un transfert de chaleur efficace, favorisant une répartition uniforme de la température et minimisant les contraintes thermiques pendant le processus de croissance épitaxiale. Cela aboutit à la production de couches épitaxiales SiC de haute qualité présentant des propriétés cristallographiques améliorées et une conductivité électrique améliorée.

Les dimensions précises et la construction robuste du disque planétaire à revêtement TaC facilitent son intégration dans les systèmes existants, garantissant une compatibilité transparente et un fonctionnement efficace. Ses performances fiables et son revêtement TaC de haute qualité contribuent à des résultats cohérents et uniformes dans les processus d'épitaxie SiC.

Faites confiance à VeTek Semiconductor et à notre disque planétaire à revêtement TaC pour des performances et une fiabilité exceptionnelles en épitaxie SiC. Découvrez les avantages de nos solutions innovantes, vous plaçant à la pointe des avancées technologiques dans l’industrie des semi-conducteurs.

Pièces de rechange pour revêtement TaC et revêtement SiC que nous fournissons :

Paramètre de produit du suscepteur planétaire à revêtement TaC :

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10-5 Ohms*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Chaîne industrielle :

Atelier de production

Balises actives: Suscepteur planétaire à revêtement TaC, Chine, fabricant, fournisseur, usine, personnalisé, achat, avancé, durable, fabriqué en Chine