Plaque de revêtement TaC

Vous pouvez être assuré d'acheter une plaque de revêtement TaC dans notre usine. Notre plaque de revêtement TaC fonctionne comme un élément clé du réacteur d'épitaxie à semi-conducteurs, ce qui permet un excellent rendement de la couche épitaxiale et une excellente efficacité de croissance. Améliorer la qualité du produit.

Pour la production de nouveaux semi-conducteurs avec des environnements de préparation de plus en plus rudes, tels que la préparation de la feuille épitaxiale de nitrure du troisième groupe principal (GaN) par dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD) et la préparation de films de croissance épitaxiale de SiC par vapeur chimique les dépôts (CVD) sont érodés par des gaz tels que H2 et NH3 dans des environnements à haute température. Les couches protectrices de SiC et de BN à la surface des supports de croissance ou des canaux de gaz existants peuvent échouer en raison de leur implication dans des réactions chimiques, ce qui affecte négativement la qualité des produits tels que les cristaux et les semi-conducteurs. Par conséquent, il est nécessaire de trouver un matériau présentant une meilleure stabilité chimique et une meilleure résistance à la corrosion comme couche protectrice pour améliorer la qualité des cristaux, des semi-conducteurs et d’autres produits. Le carbure de tantale a d'excellentes propriétés physiques et chimiques, en raison du rôle de liaisons chimiques fortes, sa stabilité chimique à haute température et sa résistance à la corrosion sont beaucoup plus élevées que celles du SiC, du BN, etc., constitue une excellente perspective d'application de la résistance à la corrosion, de la stabilité thermique du revêtement exceptionnel. .

VeTek Semiconductor dispose d'un équipement de production avancé et d'un système de gestion de la qualité parfait, d'un contrôle strict des processus pour garantir la cohérence des performances du revêtement TaC par lots, la société dispose d'une capacité de production à grande échelle, pour répondre aux besoins des clients en grandes quantités d'approvisionnement, d'un contrôle parfait de la qualité. mécanisme pour assurer la qualité de chaque produit stable et fiable.

Paramètre de produit de la plaque de revêtement TaC :

Chaîne industrielle :

Atelier de production