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Anneau de guidage en carbure de tantale
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Anneau de guidage en carbure de tantale

VeTek Semiconductor est un fabricant professionnel et leader de produits d'anneaux de guidage en carbure de tantale en Chine. Notre anneau de guidage en carbure de tantale (TaC) est un composant annulaire haute performance en carbure de tantale, couramment utilisé dans les équipements de traitement des semi-conducteurs, en particulier dans les environnements à haute température et hautement corrosifs tels que CVD, PVD, gravure et diffusion. VeTek Semiconductor s'engage à fournir des technologies et des solutions de produits avancées pour l'industrie des semi-conducteurs et accueille favorablement vos demandes complémentaires.

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Description du produit

Semi-conducteur VeTekGuide en carbure de tantalegest fabriqué à partir degraphiteetrecouvert de carbure de tantale, une combinaison qui exploite les meilleures propriétés des deux matériaux pour garantir des performances et une longévité supérieures.


Lerevêtement TaCsur l'anneau de guidage en carbure de tantale garantit qu'il reste chimiquement inerte dans les atmosphères réactives des fours de croissance cristalline SiC, qui impliquent souvent des gaz tels que l'hydrogène, l'argon et l'azote. Cette inertie chimique est essentielle pour éviter toute contamination du cristal en croissance, qui pourrait entraîner des défauts et une réduction des performances des produits semi-conducteurs finaux. De plus, la stabilité thermique fournie par le revêtement TaC permet à l'anneau de guidage avec revêtement en carbure de tantale de fonctionner efficacement aux températures élevées requises pourCroissance de cristaux de SiC, dépassant généralement 2000°C.


De plus, la combinaison de graphite et de TaC dans l'anneau de revêtement en carbure de tantale optimise la gestion thermique au sein du four de croissance cristalline. La conductivité thermique élevée du graphite distribue efficacement la chaleur, évitant les points chauds et favorisant une croissance cristalline uniforme. Pendant ce temps, le revêtement en carbure de tantale sert de barrière thermique, protégeant le noyau en graphite de l'exposition directe aux températures élevées et aux gaz réactifs. Cette synergie entre les matériaux de noyau et de revêtement aboutit à un anneau de guidage qui non seulement résiste aux conditions difficiles de croissance des cristaux de SiC, mais améliore également l'efficacité et la qualité globales du processus.


Les propriétés mécaniques du carbure de tantale VeTek Semiconductor réduisent considérablement l'usure de l'anneau de revêtement en carbure de tantale. Ceci est crucial en raison de la nature répétitive duprocessus de croissance cristalline, ce qui expose l'anneau de guidage à des cycles thermiques et à des contraintes mécaniques fréquents. La dureté et la résistance à l'usure du carbure de tantale garantissent que l'anneau de guidage conserve son intégrité structurelle et ses dimensions précises sur de longues périodes, minimisant ainsi le besoin de remplacements fréquents et réduisant les temps d'arrêt dans le processus de fabrication.


L'anneau de guidage avec revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor est un composant essentiel de l'industrie des semi-conducteurs, spécialement conçu pour la croissance deCristaux de carbure de silicium. Sa conception exploite les atouts du graphite et du carbure de tantale pour offrir des performances exceptionnelles dans des environnements à haute température et à fortes contraintes. Le revêtement TaC garantit l'inertie chimique, la durabilité mécanique et la stabilité thermique, qui sont toutes essentielles à la production de cristaux SiC de haute qualité. En conservant son intégrité et sa fonctionnalité dans des conditions extrêmes, l'anneau de guidage favorise la croissance efficace et sans défaut des cristaux de SiC, contribuant ainsi à l'avancement des dispositifs semi-conducteurs haute puissance et haute fréquence.


Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une coupe microscopique:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 2Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 3Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 4


Propriétés physiques du revêtement TaC:


Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité
14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique
0.3
Coefficient de dilatation thermique
6,3*10-6/K
Dureté (HK)
2000 Hong Kong
Résistance
1×10-5Ohm*cm
Stabilité thermique
<2500℃
Modifications de la taille du graphite
-10~-20um
Épaisseur du revêtement
Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Balises actives: Anneau de guidage en carbure de tantale, Chine, fabricant, fournisseur, usine, personnalisé, achat, avancé, durable, fabriqué en Chine
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