En tant que fabricant et producteur avancé de produits d'anneaux en carbure de tantale en Chine, l'anneau en carbure de tantale VeTek Semiconductor présente une dureté, une résistance à l'usure, une résistance aux températures élevées et une stabilité chimique extrêmement élevées et est largement utilisé dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. En particulier dans les processus CVD, PVD, d'implantation ionique, de gravure et de traitement et de transport de plaquettes, c'est un produit indispensable pour le traitement et la fabrication de semi-conducteurs. Dans l’attente de votre prochaine consultation.
L'anneau en carbure de tantale (TaC) de VeTek Semiconductor utilise du graphite de haute qualité comme matériau de base et, grâce à sa structure unique, est capable de conserver sa forme et ses propriétés mécaniques dans les conditions extrêmes d'un four de croissance cristalline. La haute résistance thermique du graphite lui confère une excellente stabilité tout au long de laprocessus de croissance cristalline.
La couche externe de l'anneau TaC est recouverte d'unrevêtement en carbure de tantale, un matériau connu pour sa dureté extrêmement élevée, son point de fusion supérieur à 3 880 °C et son excellente résistance à la corrosion chimique, ce qui le rend particulièrement adapté aux environnements d'exploitation à haute température. Le revêtement en carbure de tantale constitue une barrière solide pour prévenir efficacement les réactions chimiques violentes et garantir que le noyau en graphite n'est pas corrodé par les gaz de four à haute température.
PendantCroissance de cristaux de carbure de silicium (SiC), des conditions de croissance stables et uniformes sont essentielles pour garantir des cristaux de haute qualité. L'anneau de revêtement en carbure de tantale joue un rôle essentiel dans la régulation du débit de gaz et l'optimisation de la répartition de la température dans le four. En tant qu'anneau de guidage de gaz, l'anneau TaC assure une distribution uniforme de l'énergie thermique et des gaz de réaction, garantissant ainsi une croissance et une stabilité uniformes des cristaux de SiC.
De plus, la conductivité thermique élevée du graphite combinée à l'effet protecteur du revêtement en carbure de tantale permet à l'anneau de guidage TaC de fonctionner de manière stable dans l'environnement à haute température requis pour la croissance des cristaux de SiC. Sa résistance structurelle et sa stabilité dimensionnelle sont cruciales pour maintenir les conditions dans le four, ce qui affecte directement la qualité des cristaux produits. En réduisant les fluctuations thermiques et les réactions chimiques au sein du four, l'anneau de revêtement TaC contribue à générer des cristaux dotés d'excellentes propriétés électroniques pour les applications de semi-conducteurs hautes performances.
L'anneau en carbure de tantale de VeTek Semiconductor est un composant clé defours de croissance de cristaux de carbure de siliciumet se distingue par son excellente durabilité, sa stabilité thermique et sa résistance chimique. Sa combinaison unique de noyau en graphite et de revêtement TaC lui permet de maintenir son intégrité structurelle et sa fonctionnalité dans des conditions difficiles. En contrôlant avec précision la température et le débit de gaz à l'intérieur du four, l'anneau de revêtement TaC fournit les conditions nécessaires à la production de cristaux SiC de haute qualité, essentiels à la production de composants semi-conducteurs de pointe.
Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une coupe microscopique: