Support de bateau pour plaquettes SiC de haute pureté

VeTek Semiconductor propose un support de bateau de plaquettes SiC de haute pureté personnalisé. Fabriqué en carbure de silicium de haute pureté, il comporte des fentes pour maintenir la plaquette en place, l'empêchant de glisser pendant le traitement. Un revêtement CVD SiC est également disponible si nécessaire. En tant que fabricant et fournisseur professionnel et solide de semi-conducteurs, le support de bateau de plaquettes SiC de haute pureté de VeTek Semiconductor est compétitif en termes de prix et de haute qualité. VeTek Semiconductor se réjouit d'être votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Le support de bateau de plaquettes SiC de haute pureté VeTekSemi est un composant de roulement important utilisé dans les fours de recuit, les fours de diffusion et d'autres équipements dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Le support de bateau à plaquettes SiC de haute pureté est généralement constitué d'un matériau en carbure de silicium de haute pureté et comprend principalement les pièces suivantes :

• Corps de support pour bateau: une structure semblable à un support, spécialement utilisée pour transporterplaquettes de siliciumou d'autres matériaux semi-conducteurs.

• Structure de soutien: Sa conception de structure de support lui permet de supporter de lourdes charges à haute température et ne se déformera pas ou ne s'endommagera pas lors du traitement à haute température.

silicon carbide material

matériau en carbure de silicium

Propriétés physiques deCarbure de silicium recristallisé：

Propriété	Valeur typique
Température de travail (°C)	1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur)
Contenu SiC	> 99,96%
Contenu Si gratuit	< 0,1%
Densité apparente	2,60-2,70 g/cm3
Porosité apparente	< 16%
Résistance à la compression	> 600 MPa
Résistance à la flexion à froid	80-90 MPa (20°C)
Résistance à la flexion à chaud	90-100 MPa (1 400 °C)
Dilatation thermique à 1 500 °C	4,70*10^-6/°C
Conductivité thermique à 1200°C	23 W/m•K
Module élastique	Module élastique240 GPa
Résistance aux chocs thermiques	Extrêmement bien

Si les exigences du processus de production sont plus élevées,Revêtement CVD-SiCpeut être effectué sur le support de bateau de plaquettes SiC de haute pureté pour que la pureté atteigne plus de 99,99995 %, améliorant encore sa résistance à haute température.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC:

Propriété	Valeur typique
Structure cristalline	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité	3,21 g/cm³
Dureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m^-1·K^-1
Expansion thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Lors du traitement à haute température, le support de plaquette de SiC de haute pureté permet à la plaquette de silicium d'être chauffée uniformément pour éviter une surchauffe locale. De plus, la résistance aux températures élevées du matériau en carbure de silicium lui permet de maintenir une stabilité structurelle à des températures de 1 200 °C ou même plus. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Pendant le processus de diffusion ou de recuit, la palette en porte-à-faux et le support de bateau de plaquettes SiC de haute pureté travaillent ensemble. Lepagaie en porte-à-fauxpousse lentement le support de bateau de tranches de SiC de haute pureté transportant la tranche de silicium dans la chambre du four et l'arrête à une position désignée pour le traitement.

Le support de bateau de tranches de SiC de haute pureté maintient le contact avec la tranche de silicium et est fixé dans une position spécifique pendant le processus de traitement thermique, tandis que la palette en porte-à-faux aide à maintenir l'ensemble de la structure dans la bonne position tout en assurant l'uniformité de la température.

Le support de bateau à plaquettes SiC de haute pureté et la palette en porte-à-faux fonctionnent ensemble pour garantir la précision et la stabilité du processus à haute température.

Semi-conducteur VeTekvous propose un support de bateau de plaquettes SiC de haute pureté personnalisé en fonction de vos besoins. Dans l'attente de votre demande.

Semi-conducteur VeTekAteliers de transport de bateaux de plaquettes SiC de haute pureté:

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