Chine Revêtement en carbure de silicium Fabricant, fournisseur, usine

VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.

Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.

Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.

Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :

Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Paramètre de revêtement en carbure de silicium semi-conducteur VeTek :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété	Valeur typique
Structure cristalline	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité	3,21 g/cm³
Dureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Bloc CVD SiC pour la croissance des cristaux SiC

VeTek Semiconductor se concentre sur la recherche, le développement et l'industrialisation de sources en vrac CVD-SiC, de revêtements CVD SiC et de revêtements CVD TaC. En prenant comme exemple le bloc CVD SiC pour la croissance des cristaux SiC, la technologie de traitement du produit est avancée, le taux de croissance est rapide, la résistance aux températures élevées et la résistance à la corrosion sont fortes. Bienvenue à vous renseigner.

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Nouvelle technologie de croissance de cristal SiC

Le carbure de silicium (SiC) de très haute pureté de Vetek Semiconductor formé par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) peut être utilisé comme matériau source pour la croissance de cristaux de carbure de silicium par transport physique de vapeur (PVT). Dans SiC Crystal Growth New Technology, le matériau source est chargé dans un creuset et sublimé sur un cristal germe. Utilisez les blocs CVD-SiC mis au rebut pour recycler le matériau comme source de croissance de cristaux SiC. Bienvenue à établir un partenariat avec nous.

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Pommeau de douche CVD SiC

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de pommes de douche CVD SiC en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux SiC depuis de nombreuses années. La pomme de douche CVD SiC est choisie comme matériau de bague de focalisation en raison de son excellente stabilité thermochimique, de sa résistance mécanique élevée et de sa résistance à érosion plasmatique. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Pommeau de douche SiC

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de pommes de douche SiC en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux SiC depuis de nombreuses années. La pomme de douche SiC est choisie comme matériau de bague de focalisation en raison de son excellente stabilité thermochimique, de sa résistance mécanique élevée et de sa résistance à l'érosion plasma. .Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Disque de jeu de revêtement SiC

VeTek Semiconductor, l'un des principaux fabricants de revêtements CVD SiC, propose des disques de revêtement SiC dans les réacteurs Aixtron MOCVD. Ces disques de revêtement SiC sont fabriqués à partir de graphite de haute pureté et comportent un revêtement CVD SiC avec une impureté inférieure à 5 ppm. Nous apprécions les demandes de renseignements sur ce produit.

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Centre de collecte de revêtements SiC

VeTek Semiconductor, un fabricant réputé de revêtements CVD SiC, vous propose le centre collecteur de revêtements SiC de pointe dans le système Aixtron G5 MOCVD. Ces centres collecteurs de revêtement SiC sont méticuleusement conçus avec du graphite de haute pureté et disposent d'un revêtement CVD SiC avancé, garantissant une stabilité à haute température, une résistance à la corrosion et une grande pureté. Au plaisir de coopérer avec vous !

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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de silicium en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de silicium avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.