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Chine Revêtement en carbure de silicium Fabricant, fournisseur, usine
VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.
Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.
Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.
Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.
Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :
Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :
Paramètre de revêtement en carbure de silicium semi-conducteur VeTek :
| Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC | |
| Propriété | Valeur typique |
| Structure cristalline | Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111) |
| Densité | 3,21 g/cm³ |
| Dureté | Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g) |
| Taille des grains | 2~10μm |
| Pureté chimique | 99,99995% |
| Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| Température de sublimation | 2700 ℃ |
| Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| Module de Young | Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| Conductivité thermique | 300W·m-1·K-1 |
| Expansion thermique (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
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Goupille de levage de plaquette
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de broches de levage EPI pour plaquettes en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement SiC sur la surface du graphite depuis de nombreuses années. Nous proposons une broche de levage de plaquette EPI pour le processus Epi. Avec une qualité élevée et un prix compétitif, nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.
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Suscepteur de baril recouvert de SiC
VeTek Semiconductor propose un ensemble complet de solutions de composants pour les chambres de réaction d'épitaxie de silicium LPE, offrant une longue durée de vie, une qualité stable et un rendement amélioré des couches épitaxiales. Notre produit tel que le suscepteur à baril revêtu de SiC a reçu des commentaires de position de la part des clients. Nous fournissons également une assistance technique pour Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy, etc. N'hésitez pas à vous renseigner pour obtenir des informations sur les tarifs.
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Si le récepteur EPI
VeTek Semiconductor est une usine qui combine des capacités d'usinage de précision et de revêtement de semi-conducteurs SiC et TaC. Le suscepteur Si Epi de type baril offre des capacités de contrôle de la température et de l'atmosphère, améliorant ainsi l'efficacité de la production dans les processus de croissance épitaxiale des semi-conducteurs. Dans l'attente d'établir une relation de coopération avec vous.
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Récepteur Epi à revêtement SiC
En tant que premier fabricant national de revêtements en carbure de silicium et en carbure de tantale, VeTek Semiconductor est en mesure de fournir un usinage de précision et un revêtement uniforme du suscepteur Epi revêtu de SiC, contrôlant efficacement la pureté du revêtement et du produit en dessous de 5 ppm. La durée de vie du produit est comparable à celle du SGL. Bienvenue à nous renseigner.
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Ensemble de récepteurs LPE SI EPI
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs d'ensembles de suscepteurs LPE Si Epi en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement SiC et le revêtement TaC depuis de nombreuses années. Nous proposons un ensemble de suscepteurs LPE Si Epi conçu spécifiquement pour les tranches LPE PE2061S 4''. Le degré correspondant de matériau graphite et de revêtement SiC est bon, l'uniformité est excellente et la durée de vie est longue, ce qui peut améliorer le rendement de croissance de la couche épitaxiale pendant le processus LPE (épitaxie en phase liquide). Nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.
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Suscepteurs Aixtron G5 MOCVD
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de suscepteurs Aixtron G5 MOCVD en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux de revêtement SiC depuis de nombreuses années. Nous proposons des suscepteurs Aixtron G5 MOCVD conçus spécifiquement pour le réacteur Aixtron G5 MOCVD. Ce kit de suscepteurs Aixtron G5 MOCVD est une solution polyvalente et efficace pour la fabrication de semi-conducteurs avec sa taille optimale, sa compatibilité et sa productivité élevée.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de silicium en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de silicium avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
