Chine Revêtement en carbure de silicium Fabricant, fournisseur, usine

VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.

Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.

Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.

Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :

Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Paramètre de revêtement en carbure de silicium semi-conducteur VeTek :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété	Valeur typique
Structure cristalline	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité	3,21 g/cm³
Dureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Dessus du collecteur de revêtement SiC

Bienvenue chez VeTek Semiconductor, votre fabricant de confiance de revêtements CVD SiC. Nous sommes fiers de proposer le revêtement collecteur Aixtron SiC, conçu de manière experte à partir de graphite de haute pureté et doté d'un revêtement CVD SiC de pointe avec une impureté inférieure à 5 ppm. N'hésitez pas à nous contacter pour toute question ou demande de renseignements

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Fond du collecteur de revêtement SiC

Grâce à notre expertise dans la fabrication de revêtements CVD SiC, VeTek Semiconductor présente fièrement le fond du collecteur de revêtement Aixtron SiC. Ce fond collecteur de revêtement SiC est construit à partir de graphite de haute pureté et est recouvert de CVD SiC, garantissant une impureté inférieure à 5 ppm. N'hésitez pas à nous contacter pour plus d'informations et de demandes de renseignements.

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Segments de couverture de revêtement SiC intérieurs

Chez VeTek Semiconductor, nous sommes spécialisés dans la recherche, le développement et l'industrialisation des revêtements CVD SiC et CVD TaC. Un exemple de produit est le SiC Coating Cover Segments Inner, qui subit un traitement approfondi pour obtenir une surface CVD SiC très précise et à revêtement dense. Ce revêtement démontre une résistance exceptionnelle aux températures élevées et offre une protection robuste contre la corrosion. N'hésitez pas à nous contacter pour toute demande de renseignements.

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Segments de couverture de revêtement SiC

Vetek Semiconductor se consacre à l'avancement et à la commercialisation des revêtements CVD SiC et CVD TaC. À titre d'illustration, nos segments de couverture de revêtement SiC subissent un traitement méticuleux, aboutissant à un revêtement SiC CVD dense d'une précision exceptionnelle. Il présente une résistance remarquable aux températures élevées et offre une protection robuste contre la corrosion. Nous apprécions vos demandes.

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Accepteur MOCVD

Vetek Semiconductor se concentre sur la recherche, le développement et l'industrialisation des revêtements CVD SiC et CVD TaC. En prenant le suscepteur MOCVD comme exemple, le produit est hautement traité avec un revêtement CVD SIC dense de haute précision, une résistance à haute température et une forte résistance à la corrosion. Une enquête sur nous est la bienvenue.

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Anneau de préchauffage

VeTek Semiconductor est un innovateur en matière de fabricant de revêtements SiC en Chine. L'anneau de préchauffage fourni par VeTek Semiconductor est conçu pour le processus d'épitaxie. Le revêtement uniforme en carbure de silicium et le graphite haut de gamme comme matières premières garantissent un dépôt cohérent et améliorent la qualité et l'uniformité de la couche épitaxiale. Nous sommes impatients d'établir une coopération à long terme avec vous.

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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de silicium en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de silicium avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.