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Chine Revêtement en carbure de tantale Fabricant, fournisseur, usine
VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.
Les principaux produits sontAnneau transfuge avec revêtement en carbure de tantale, anneau de dérivation recouvert de TaC, pièces en demi-lune revêtues de TaC, disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale (Aixtron G10), creuset revêtu de TaC ; Anneaux revêtus de TaC ; graphite poreux enduit de TaC ; Suscepteur de graphite à revêtement en carbure de tantale ; Anneau de guidage revêtu de TaC ; Plaque revêtue de carbure de tantale TaC ; Suscepteur de plaquette à revêtement TaC ; Anneau de revêtement TaC ; Couverture en graphite à revêtement TaC ; Morceau enduit de TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.
Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :
Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.
Principales fonctionnalités:
●Stabilité de la température
●Ultra haute pureté
●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si
●Résistance au stock thermique
●Forte adhérence au graphite
●Couverture du revêtement conforme
● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)
Applications:
● Suscepteur de chauffage inductif
● Élément chauffant résistif
● Bouclier thermique
Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:
Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:
| Propriétés physiques du revêtement TaC | |
| Densité | 14,3 (g/cm³) |
| Émissivité spécifique | 0.3 |
| Coefficient de dilatation thermique | 6.3 10-6/K |
| Dureté (HK) | 2000 Hong Kong |
| Résistance | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilité thermique | <2500℃ |
| Modifications de la taille du graphite | -10~-20um |
| Épaisseur du revêtement | Valeur typique ≥20um (35um±10um) |
Données EDX du revêtement TaC：
Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:
| Élément | Pourcentage atomique | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Moyenne | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eux | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Pièce de rechange pour revêtement TaC
VeTek Semiconductor est un fabricant professionnel de plaques de revêtement TaC et d'autres pièces de rechange de revêtement TaC en Chine. Le revêtement TaC est actuellement principalement utilisé dans des processus tels que la croissance monocristalline de carbure de silicium (méthode PVT), le disque épitaxial (y compris l'épitaxie au carbure de silicium, l'épitaxie LED), etc. Combiné à la bonne stabilité à long terme de la plaque de revêtement TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate est devenue la référence en matière de pièces détachées TaC Coating. Nous sommes impatients de vous voir devenir notre partenaire à long terme.
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GaN sur accepteur épi SiC
VeTek Semiconductor est un fabricant professionnel de suscepteurs épi GaN sur SiC, de revêtements CVD SiC et de suscepteurs en graphite CVD TAC COATING en Chine. Parmi eux, le suscepteur épi GaN sur SiC joue un rôle essentiel dans le traitement des semi-conducteurs. Grâce à son excellente conductivité thermique, sa capacité de traitement à haute température et sa stabilité chimique, il garantit le rendement élevé et la qualité des matériaux du processus de croissance épitaxiale du GaN. Nous attendons avec impatience votre consultation ultérieure.
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Support de revêtement CVD TaC
Le support de revêtement CVD TaC de VeTek Semiconductor est principalement conçu pour le processus épitaxial de fabrication de semi-conducteurs. Le point de fusion ultra-élevé du support de revêtement CVD TaC, son excellente résistance à la corrosion et sa stabilité thermique exceptionnelle déterminent le caractère indispensable de ce produit dans le processus épitaxial de semi-conducteurs. Nous espérons sincèrement établir une relation commerciale à long terme avec vous.
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Anneau de guidage de revêtement TaC
L'anneau de guidage de revêtement TaC de VeTek Semiconductor est créé en appliquant un revêtement de carbure de tantale sur des pièces en graphite à l'aide d'une technique très avancée appelée dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Cette méthode est bien établie et offre des propriétés de revêtement exceptionnelles. En utilisant l'anneau de guidage de revêtement TaC, la durée de vie des composants en graphite peut être considérablement prolongée, le mouvement des impuretés du graphite peut être supprimé et la qualité des monocristaux SiC et AIN peut être maintenue de manière fiable. Bienvenue à nous enquêter.
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Suscepteur en graphite revêtu de TaC
Le suscepteur de graphite à revêtement TaC de VeTek Semiconductor utilise la méthode de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour préparer un revêtement de carbure de tantale sur la surface des pièces en graphite. Ce procédé est le plus abouti et possède les meilleures propriétés de revêtement. Le suscepteur en graphite revêtu de TaC peut prolonger la durée de vie des composants en graphite, inhiber la migration des impuretés du graphite et garantir la qualité de l'épitaxie. VeTek Semiconductor attend votre demande avec impatience.
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Suscepteur de revêtement TaC
VeTek Semiconductor présente le suscepteur de revêtement TaC. Avec son revêtement TaC exceptionnel, ce suscepteur offre une multitude d'avantages qui le distinguent des solutions conventionnelles. S'intégrant parfaitement aux systèmes existants, le suscepteur de revêtement TaC de VeTek Semiconductor garantit la compatibilité et un fonctionnement efficace. Ses performances fiables et son revêtement TaC de haute qualité fournissent systématiquement des résultats exceptionnels dans les processus d'épitaxie SiC. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de tantale avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
