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Chine Revêtement en carbure de tantale Fabricant, fournisseur, usine
VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.
Les principaux produits sontAnneau transfuge avec revêtement en carbure de tantale, anneau de dérivation recouvert de TaC, pièces en demi-lune revêtues de TaC, disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale (Aixtron G10), creuset revêtu de TaC ; Anneaux revêtus de TaC ; graphite poreux enduit de TaC ; Suscepteur de graphite à revêtement en carbure de tantale ; Anneau de guidage revêtu de TaC ; Plaque revêtue de carbure de tantale TaC ; Suscepteur de plaquette à revêtement TaC ; Anneau de revêtement TaC ; Couverture en graphite à revêtement TaC ; Morceau enduit de TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.
Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :
Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.
Principales fonctionnalités:
●Stabilité de la température
●Ultra haute pureté
●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si
●Résistance au stock thermique
●Forte adhérence au graphite
●Couverture du revêtement conforme
● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)
Applications:
● Suscepteur de chauffage inductif
● Élément chauffant résistif
● Bouclier thermique
Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:
Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:
| Propriétés physiques du revêtement TaC | |
| Densité | 14,3 (g/cm³) |
| Émissivité spécifique | 0.3 |
| Coefficient de dilatation thermique | 6.3 10-6/K |
| Dureté (HK) | 2000 Hong Kong |
| Résistance | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilité thermique | <2500℃ |
| Modifications de la taille du graphite | -10~-20um |
| Épaisseur du revêtement | Valeur typique ≥20um (35um±10um) |
Données EDX du revêtement TaC：
Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:
| Élément | Pourcentage atomique | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Moyenne | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eux | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Plaque de rotation de revêtement TaC
La plaque de rotation de revêtement TaC de VeTek Semiconductor est dotée d'un revêtement TaC exceptionnel. Avec son revêtement TaC exceptionnel, la plaque de rotation de revêtement TaC possède une résistance remarquable aux températures élevées et une inertie chimique, qui la distinguent des solutions traditionnelles. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs. prix et nous sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.
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Plaque de revêtement TaC
La plaque de revêtement TaC de VeTek Semiconductor est un produit remarquable qui offre des fonctionnalités et des avantages exceptionnels. Conçue avec précision et conçue à la perfection, notre plaque de revêtement TaC est spécialement conçue pour diverses applications dans les processus de croissance monocristalline du carbure de silicium (SiC). Les dimensions précises et la construction robuste de la plaque de revêtement TaC la rendent facile à intégrer dans les systèmes existants, garantissant une compatibilité transparente. et un fonctionnement efficace. Ses performances fiables et son revêtement de haute qualité contribuent à des résultats cohérents et uniformes dans les applications de croissance de cristaux SiC. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compé......
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Couverture de revêtement CVD TaC
Le revêtement CVD TaC fourni par VeTek Semiconductor est un composant hautement spécialisé conçu spécifiquement pour les applications exigeantes. Avec ses fonctionnalités avancées et ses performances exceptionnelles, notre revêtement CVD TaC offre plusieurs avantages clés. Notre revêtement CVD TaC offre la protection et les performances nécessaires au succès. Nous sommes impatients d'explorer une coopération potentielle avec vous !
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Suscepteur planétaire à revêtement TaC
Le suscepteur planétaire à revêtement VeTek Semiconductor'TaC est un produit exceptionnel pour les équipements d'épitaxie Aixtron. Le revêtement TaC robuste offre une excellente résistance aux hautes températures et une inertie chimique. Cette combinaison unique garantit des performances fiables et une longue durée de vie, même dans des environnements exigeants. VeTek s'engage à fournir des produits de haute qualité et à servir de partenaire à long terme sur le marché chinois avec des prix compétitifs.
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Plaque de support de socle de revêtement TaC
La plaque de support de socle à revêtement TaC de VeTek Semiconductor est un produit de haute précision conçu pour répondre aux exigences spécifiques des processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Avec son revêtement TaC, sa résistance aux hautes températures et son inertie chimique, notre produit vous permet de produire des couches EPI de haute qualité. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.
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Mandrin de revêtement TaC
Le mandrin de revêtement TaC de VeTek Semiconductor est doté d'un revêtement TaC de haute qualité, connu pour sa résistance exceptionnelle aux températures élevées et son inertie chimique, en particulier dans les processus d'épitaxie (EPI) au carbure de silicium (SiC). Avec ses caractéristiques exceptionnelles et ses performances supérieures, notre mandrin de revêtement TaC offre plusieurs avantages clés. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de tantale avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
