Pièce de rechange pour revêtement TaC

Semi-conducteur VeTekPlaque de revêtement TaCest un matériau spécial largement utilisé dans lesemi-conducteurprocessus de fabrication. Combinée avec sa dureté et sa résistance à l'usure élevées, sa résistance aux températures élevées, sa résistance à la corrosion, son faible coefficient de frottement et sa bonne conductivité thermique, la plaque de revêtement TaC joue un rôle irremplaçable dans de nombreux maillons du traitement des semi-conducteurs.

Généralement, les applications dePlaques revêtues de TaCdans le traitement des semi-conducteurs sont les suivants :

Substrat de croissance CVD/ALD: La résistance aux températures élevées, la stabilité chimique et le faible coefficient de frottement des plaques revêtues de TaC en font des substrats de croissance CVD/ALD idéaux. Il peut fournir un environnement de croissance stable pour garantir l'uniformité et la densité du film.

Plaque de masque de gravure: La dureté élevée et la résistance à la corrosion des plaques revêtues de TaC leur permettent de résister à des processus à haute énergie tels que la gravure au plasma, comme plaques de masque de gravure, protégeant le film sous-jacent.

Tampon de polissage CMP: La résistance à l'usure et le faible coefficient de frottement des plaques revêtues de TaC en font des matériaux idéaux pour les tampons de polissage CMP, qui peuvent éliminer efficacement les particules et les défauts à la surface du film.

Tube de four à haute température: La résistance à haute température et la résistance à la corrosion des plaques revêtues de TaC leur permettent d'être utilisées comme tubes de four dans des fours à haute température pour le recuit à haute température, la diffusion et d'autres processus.

Combiné avec les caractéristiques du produit dePlaque de revêtement TaC, il détermine que ce produit joue un rôle clé irremplaçable dans l'amélioration des performances de l'appareil, la prolongation de la durée de vie de l'équipement et l'amélioration de l'efficacité de la production. 

En tant que fabricant professionnel deGaN sur accepteur épi SiC, Graphite poreuxetPlaque de revêtement TaCen Chine, VeTek Semiconductor insiste toujours sur la fourniture de services de produits personnalisés et s'engage à fournir à l'industrie des technologies et des solutions de produits de pointe. Nous attendons avec impatience votre consultation ultérieure.

Paramètres techniques du revêtement CVD TAC：

Magasins de pièces détachées TaC Coating：

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices：