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Chine Revêtement en carbure de tantale Fabricant, fournisseur, usine
VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.
Les principaux produits sontAnneau transfuge avec revêtement en carbure de tantale, anneau de dérivation recouvert de TaC, pièces en demi-lune revêtues de TaC, disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale (Aixtron G10), creuset revêtu de TaC ; Anneaux revêtus de TaC ; graphite poreux enduit de TaC ; Suscepteur de graphite à revêtement en carbure de tantale ; Anneau de guidage revêtu de TaC ; Plaque revêtue de carbure de tantale TaC ; Suscepteur de plaquette à revêtement TaC ; Anneau de revêtement TaC ; Couverture en graphite à revêtement TaC ; Morceau enduit de TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.
Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :
Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.
Principales fonctionnalités:
●Stabilité de la température
●Ultra haute pureté
●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si
●Résistance au stock thermique
●Forte adhérence au graphite
●Couverture du revêtement conforme
● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)
Applications:
● Suscepteur de chauffage inductif
● Élément chauffant résistif
● Bouclier thermique
Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:
Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:
| Propriétés physiques du revêtement TaC | |
| Densité | 14,3 (g/cm³) |
| Émissivité spécifique | 0.3 |
| Coefficient de dilatation thermique | 6.3 10-6/K |
| Dureté (HK) | 2000 Hong Kong |
| Résistance | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilité thermique | <2500℃ |
| Modifications de la taille du graphite | -10~-20um |
| Épaisseur du revêtement | Valeur typique ≥20um (35um±10um) |
Données EDX du revêtement TaC：
Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:
| Élément | Pourcentage atomique | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Moyenne | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eux | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Anneau de revêtement CVD TaC
L'anneau de revêtement CVD TaC de VeTek Semiconductor est un composant très avantageux conçu pour répondre aux exigences exigeantes des processus de croissance cristalline du carbure de silicium (SiC). L'anneau de revêtement CVD TaC offre une résistance exceptionnelle aux hautes températures et une inertie chimique, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements caractérisés par des températures élevées et des conditions corrosives. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et sommes impatients d'être votre partenaire à long terme. en Chine.
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LPE SiC EPI Demi-lune
LPE SiC Epi Halfmoon de VeTek Semiconductor, un produit révolutionnaire conçu pour élever les processus d'épitaxie SiC des réacteurs LPE. Cette solution de pointe possède plusieurs fonctionnalités clés qui garantissent des performances et une efficacité supérieures tout au long de vos opérations de fabrication. Au plaisir d’établir une coopération à long terme avec vous.
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Récepteur LED EPI
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de revêtements TaC et de pièces en graphite avec revêtement SiC. Nous sommes spécialisés dans la production de suscepteurs LED EPI de pointe, essentiels pour les procédés d'épitaxie LED. En mettant fortement l’accent sur l’innovation et la qualité, nous proposons des solutions fiables qui répondent aux exigences strictes de l’industrie LED. Contactez-nous dès aujourd'hui pour discuter de vos demandes et découvrir comment nos produits peuvent améliorer vos processus de fabrication.
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Suscepteur MOCVD avec revêtement TaC
VeTek Semiconductor est un fournisseur complet impliqué dans la recherche, le développement, la production, la conception et la vente de revêtements TaC et de pièces avec revêtement SiC. Notre expertise réside dans la production de suscepteurs MOCVD de pointe avec revêtement TaC, qui jouent un rôle essentiel dans le processus d'épitaxie LED. Nous vous invitons à discuter avec nous de vos demandes de renseignements et de plus amples informations.
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Suscepteur LED UV profond à revêtement TaC
VeTek Semiconductor est un fournisseur intégré engagé dans la recherche et le développement, la production, la conception et la vente de revêtements TaC. Nous sommes spécialisés dans la fabrication de suscepteurs LED UV à revêtement TaC, qui sont des composants cruciaux dans le processus d'épitaxie LED. Notre suscepteur LED UV profond à revêtement TaC offre une conductivité thermique élevée, une résistance mécanique élevée, une efficacité de production améliorée et une protection des plaquettes épitaxiales. Bienvenue à nous enquêter.
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Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC
VeTek Semiconductor est le principal fabricant et fournisseur en Chine de demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, nous nous sommes spécialisés dans la R&D et la production, pouvons bien contrôler la qualité et offrir un prix compétitif. Vous êtes invités à visiter notre usine pour une discussion plus approfondie sur une coopération à long terme.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de tantale avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
