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Chine Revêtement en carbure de tantale Fabricant, fournisseur, usine
VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.
Les principaux produits sontAnneau transfuge avec revêtement en carbure de tantale, anneau de dérivation recouvert de TaC, pièces en demi-lune revêtues de TaC, disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale (Aixtron G10), creuset revêtu de TaC ; Anneaux revêtus de TaC ; graphite poreux enduit de TaC ; Suscepteur de graphite à revêtement en carbure de tantale ; Anneau de guidage revêtu de TaC ; Plaque revêtue de carbure de tantale TaC ; Suscepteur de plaquette à revêtement TaC ; Anneau de revêtement TaC ; Couverture en graphite à revêtement TaC ; Morceau enduit de TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.
Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :
Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.
Principales fonctionnalités:
●Stabilité de la température
●Ultra haute pureté
●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si
●Résistance au stock thermique
●Forte adhérence au graphite
●Couverture du revêtement conforme
● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)
Applications:
● Suscepteur de chauffage inductif
● Élément chauffant résistif
● Bouclier thermique
Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:
Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:
| Propriétés physiques du revêtement TaC | |
| Densité | 14,3 (g/cm³) |
| Émissivité spécifique | 0.3 |
| Coefficient de dilatation thermique | 6.3 10-6/K |
| Dureté (HK) | 2000 Hong Kong |
| Résistance | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilité thermique | <2500℃ |
| Modifications de la taille du graphite | -10~-20um |
| Épaisseur du revêtement | Valeur typique ≥20um (35um±10um) |
Données EDX du revêtement TaC：
Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:
| Élément | Pourcentage atomique | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Moyenne | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eux | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Anneau à trois pétales avec revêtement TaC
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs d'anneaux à trois pétales recouverts de TaC en Chine. Nous sommes spécialisés dans les revêtements TaC et SiC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une résistance à la corrosion et une résistance élevée. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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Mandrin recouvert de carbure de tantale
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de mandrins à revêtement en carbure de tantale en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement TaC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une grande pureté et une résistance à haute température jusqu'à 2000 ℃. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme. partenaire en Chine.
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Couverture enduite de carbure de tantale
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de revêtements en carbure de tantale en Chine. Nous sommes spécialisés dans les revêtements TaC et SiC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une résistance à la corrosion et une résistance élevée. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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Demi-lune inférieure en graphite ultra pur
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de demi-lune inférieure en graphite ultra pur personnalisé en Chine, spécialisé dans les matériaux avancés depuis de nombreuses années. Notre demi-lune inférieure en graphite ultra pur est spécialement conçue pour les équipements épitaxiaux SiC, garantissant d'excellentes performances. Fabriqué à partir de graphite importé ultra pur, il offre fiabilité et durabilité. Visitez notre usine en Chine pour explorer de première main notre demi-lune inférieure en graphite ultra pur de haute qualité.
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Partie supérieure en demi-lune avec revêtement SiC
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de pièces de demi-lune supérieures personnalisées revêtues de SiC en Chine, spécialisé dans les matériaux avancés depuis plus de 20 ans. La partie supérieure en demi-lune de VeTek Semiconductor avec revêtement SiC est spécialement conçue pour les équipements épitaxiaux SiC, servant de composant crucial dans la chambre de réaction. Fabriqué à partir de graphite ultra-pur de qualité semi-conducteur, il garantit d'excellentes performances. Nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.
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Support de plaquette d'épitaxie en carbure de silicium
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de supports de plaquettes d'épitaxie en carbure de silicium personnalisés en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux avancés depuis plus de 20 ans. Ce support de plaquette d'épitaxie en carbure de silicium est une partie importante recouverte de SiC de la partie demi-lune, résistance aux températures élevées, résistance à l'oxydation, résistance à l'usure. Nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de tantale avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
