Support de revêtement en carbure de tantale

La fonction principale de VeTek SemiconductorRevêtement en carbure de tantale (TaC)Le soutien consiste à améliorerrésistance à la chaleur, résistance à l'usure et résistance à la corrosiondu substrat en enduisant une couche de revêtement en carbure de tantale, de manière à améliorer la précision et la fiabilité du processus et à prolonger la durée de vie des composants. Il s'agit d'un produit de revêtement haute performance utilisé dans le domaine du traitement des semi-conducteurs.

Le support de revêtement en carbure de tantale de VeTek Semiconductor a une dureté Mohs de près de 9 ~ 10, juste derrière le diamant. Il a une résistance à l'usure extrêmement forte et peut résister efficacement à l'usure de surface et aux chocs pendant le traitement, prolongeant ainsi efficacement la durée de vie des composants de l'équipement. Combiné à son point de fusion élevé d'environ 3 880 °C, il est souvent utilisé pour le revêtement de composants clés d'équipements semi-conducteurs, tels que les revêtements de surface des structures de support, les équipements de traitement thermique, les chambres ou les joints des équipements semi-conducteurs afin d'améliorer leur résistance à l'usure et aux températures élevées. résistance.

En raison du point de fusion extrêmement élevé du carbure de tantale, d'environ 3 880 °C, dans les processus de traitement des semi-conducteurs tels quedépôt chimique en phase vapeur (CVD)etdépôt physique en phase vapeur (PVD), Le revêtement TaC avec une forte résistance aux températures élevées et à la corrosion chimique peut protéger efficacement les composants de l'équipement et prévenir la corrosion ou les dommages au substrat dans des environnements extrêmes, offrant une protection efficace pour les environnements à haute température dans la fabrication de plaquettes. Cette caractéristique détermine également que le support de revêtement en carbure de tantale de VeTek Semiconductor est souvent utilisé dans les processus de gravure et corrosifs.

Le support de revêtement en carbure de tantale a également pour fonction de réduire la contamination par les particules. Lors du traitement des tranches, l'usure de la surface produit généralement une contamination particulaire, qui affecte la qualité du produit de la tranche. Les caractéristiques extrêmes du produit TaC Coating, d'une dureté proche de 9 à 10 Mohs, peuvent réduire efficacement cette usure, réduisant ainsi la génération de particules. Combiné à l'excellente conductivité thermique du revêtement TaC (environ 21 W/m·K), il peut maintenir une bonne conductivité thermique dans des conditions de température élevée, améliorant ainsi considérablement le rendement et la cohérence de la fabrication des plaquettes.

Les principaux produits de revêtement TaC de VeTek Semiconductor comprennentChauffage de revêtement TaC, Creuset de revêtement CVD TaC, Suscepteur de rotation du revêtement TaCetPièce de rechange pour revêtement TaC, etc., et prend en charge des services de produits personnalisés. VeTek Semiconductor s'engage à fournir d'excellents produits et solutions techniques pour l'industrie des semi-conducteurs. Nous espérons sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une coupe microscopique:

Propriétés physiques de base du revêtement CVD TaC：