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Chine Revêtement en carbure de tantale Fabricant, fournisseur, usine
VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.
Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.
Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :
Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.
Principales fonctionnalités:
●Stabilité de la température
●Ultra haute pureté
●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si
●Résistance au stock thermique
●Forte adhérence au graphite
●Couverture du revêtement conforme
● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)
Applications:
● Suscepteur de chauffage inductif
● Élément chauffant résistif
● Bouclier thermique
Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:
Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:
| Propriétés physiques du revêtement TaC | |
| Densité | 14,3 (g/cm³) |
| Émissivité spécifique | 0.3 |
| Coefficient de dilatation thermique | 6.3 10-6/K |
| Dureté (HK) | 2000 Hong Kong |
| Résistance | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilité thermique | <2500℃ |
| Modifications de la taille du graphite | -10~-20um |
| Épaisseur du revêtement | Valeur typique ≥20um (35um±10um) |
Données EDX du revêtement TaC：
Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:
| Élément | Pourcentage atomique | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Moyenne | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eux | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Anneau de guidage revêtu de TaC
L'anneau de guidage revêtu de TaC est composé de graphite de haute qualité et d'un revêtement TaC. Dans la préparation des cristaux de SiC par la méthode PVT, l'anneau de guidage revêtu de TaC de VeTek Semiconductor est principalement utilisé pour guider et contrôler le flux d'air, optimiser le processus de croissance des monocristaux et améliorer le rendement des monocristaux. Grâce à l’excellente technologie de revêtement TaC, nos produits présentent une excellente résistance aux températures élevées, à la corrosion et de bonnes propriétés mécaniques. Nous apprécions sincèrement votre consultation et sommes impatients de vous fournir des informations produit plus détaillées et une assistance technique.
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Disque de rotation planétaire recouvert de carbure de tantale
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et fournisseurs de disques de rotation planétaires revêtus de carbure de tantale en Chine, se concentrant sur la technologie de revêtement TaC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une pureté élevée et une excellente résistance aux températures élevées, largement reconnues par les fabricants de semi-conducteurs. Le disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale VeTek Semiconductor est devenu l’épine dorsale de l’industrie de l’épitaxie des plaquettes. Nous sommes impatients d’établir un partenariat à long terme avec vous pour promouvoir conjointement le progrès technologique et l’optimisation de la production.
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Support de plaquette de graphite enduit de TaC
VeTek Semiconductor a soigneusement conçu un support de plaquette en graphite revêtu de TaC pour ses clients. Il est composé de graphite de haute pureté et d'un revêtement TaC, qui convient à divers traitements de plaquettes épitaxiales. Nous sommes spécialisés dans les revêtements SiC et TaC depuis de nombreuses années. Par rapport au revêtement SiC, notre support de plaquette de graphite revêtu de TaC a une résistance à la température et à l'usure plus élevée. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de tantale avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
